1、电阻真空计
利用加热元件的电阻与温度有关,元件的温度又与气体传导有关的原理,通过电桥电路来测量真空度的真空计。
2、麦克劳真空计(压缩式真空计)
将待测的气体用汞(或油)压缩到一极小体积,然后比较开管和闭管的液柱差,利用玻义尔定律直接算出气体压强的一种绝对真空计。
3、B-A规
这是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离规。收集极是一根细丝,放在栅网中心,灯丝放在栅网外面,因而减少软X射线影响,延伸测量下限,可测超高真空。
4、水环真空泵
泵的叶轮转子旋转而产生水环。由于转子偏心旋转而使水环与叶片间容积发生周期性改变而进行抽气的机械真空泵。
5、往复真空泵
利用活塞的往复运动而进行抽气的机械真空泵。
6、油封机械真空泵
用油来保持密封的机械真空泵,可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式等。
7、罗茨真空泵
具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵,此泵不可以单独抽气,前级需配油封、水环等可直排大气的真空泵。
8、涡轮分子真空泵
有一高速旋转的叶轮,当气体分子与高速旋转的涡轮叶片相碰撞时就被驱向出气口再由前级泵抽除。
9、油扩散真空泵
扩散泵喷口中喷出高速蒸汽流。在分子流条件下,气体分子不断地向蒸流中扩散,并被蒸汽带向泵出口处逐级被压缩后再由前级泵排除。
10、低温真空泵
利用20K以下的低温表面凝聚吸附气体的真空泵。
11、冷阱(水冷挡板)
置于真空容器和泵之间,用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。
12、真空冷冻干燥
真空冷冻干燥,也称升华干燥。其原理是将材料冷冻,使其含有的水份变成冰块,然后在真空下使冰升华而达到干燥目的。
13、真空蒸镀
在真空环境中,将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀,或叫真空镀膜。
14、真空干燥
利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。
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