油封式真空泵:它是利用油类密封各运动部件之间的间隙,减少有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置,故又称气镇式真空泵。按其结构特点分为以下几种型式。
1、旋片式真空泵:
转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近,在转子槽内装有两个(或两个以上)旋片,当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触,此旋片随转子一起旋转,可将泵腔分成几个可变容积。旋片式真空泵属于低真空泵。它可以单独使用,也可以作为其他高真空泵或超高真空泵的前级泵。旋片泵多为中小型泵,产品已经系列化。旋片泵有单级和双级两种,一般多做成双级的,以获得较高的真空度。旋片泵绝大多数是单工作腔结构,常用两个径向滑片,也有用三个斜置滑片的。贯穿滑片真空泵也有应用。例如XD型旋片式真空泵。X型旋片式真空泵。
2、滑阀式真空泵:
在偏心转子外部装有一个滑阀,转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动,滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动,而把泵腔分成两个可变容积。滑阀式真空泵的抽气原理与旋片泵相似,但两者结构不同。滑阀式真空泵是利用滑阀机构来改变吸气腔容积的,故称滑阀泵。例如H型滑阀真空泵。2H型滑阀真空泵。
3、定片式真空泵:
在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子,泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片,当转子旋转时,滑片能上、下滑动将泵腔分成两个可变容积。定片式真空泵抽速较小,有单级、双级之分,双级泵的极限真空可达10-1 Pa。泵的结构简单、使用寿命较长和检修容易,但由于其工作性能不如旋片泵,所以目前已经很少生产和应用。例如2X型旋片式真空泵。2XZ型旋片式真空泵
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