基于氦质谱检漏仪的结构和原理，预设了适合使用于电真空部件气密性检验测定的检漏平台。电真空部件的结构独特的地方及勘测精密度要求表决了氦罩法和喷吹法是电真空部件氦质谱检漏技术中最常用办法，氦罩法标定总漏率，总漏率越过准许值后用喷吹法对漏孔正确认位。双回路复杂结构和复杂串连漏孔的定位，表清楚氦质谱喷吹法在电真空部件检漏中的影响因素务必遵循的喷吹检漏原则。同时，温度、临时严密封闭材料和设施材料吸附等因素会带来一定的勘测误差。
真空气密性是影响微波管性能及生存的年限的主要因素之一，因为这个真空检漏是真空电子部件制造工艺中靠得住性保证的关紧工序。电真空部件的独特的地方和漏率值要求表决了其气密性检验测定主要认为合适而使用氦质谱检漏办法。氦质谱检验测定技术以其漏点漏率可量化、锐敏度高、速度快、运用安全、适合使用范围广等独特的地方，在航空、航天、交通工具和电真空行业获得了广泛的应用。与其它好些个传统检漏办法相形，而上海真空泵厂觉得氦质谱检漏具备不可以比拟的技术优良性。氦罩法和喷吹法是电真空部件氦质谱检漏技术中最常用的两种办法。氦罩法是对总漏率施行标定，当总漏率越过准许值后用喷吹法施行漏孔的正确认位。到现在为止，鲜有文献对电真空部件氦质谱检漏技术施行系统地研讨。
因为这个，本文依据电真空部件的结构独特的地方及勘测精密度，预设了与氦质谱检漏仪般配的检漏平台，并以双回路复杂结构和复杂串连漏孔的定位为例总结概括了氦质谱喷吹法在电真空部件检漏中的影响因素以及务必遵循的喷吹检漏原则，同时叙述分析了温度、临时严密封闭材料(乙醇、真空封泥、橡胶件)和设施材料吸附等因素会带来的勘测误差。
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