余摆线真空泵是余摆线型转子在泵腔内作行星运动，使工作室容积周期性变化以实现抽气的真空泵。余摆线真空泵由于结构复杂、制造困难，推广使用受到一定的限制。
现状余摆线真空泵由于结构复杂、制造困难，推广使用受到一定的限制。但它运转平稳,噪声小,体积和重量小(与相同抽速的滑阀真空泵比较体积和重量均减小1/3)，比功率小。它同其他油封式机械真空泵一样，可单独使用或作为扩散泵和增压泵等的前级泵。因此，在真空冶炼、真空热处理、真空干燥和真空浸渍，以及化工和食品工业中均可用它作为抽气设备。
原理余摆线型转子在泵腔内作行星运动，使工作室容积周期性变化以实现抽气的真空泵。它主要由泵体和转子构成。图为余摆线真空泵的工作原理和传动机构。转子的型线为余摆线，泵腔型线为转子型线的外包络线。转子上的内齿轮与固定在泵盖上的小齿轮啮合。当转动轴旋转时,偏心轮即带动内齿轮(即转子)绕小齿轮作行星运动。泵体Μ点永远与转子表面接触，将泵腔分隔成两个工作室A和B。转子逆时针方向旋转，与排气口相通的B室内的气体逐渐被压缩,压力逐渐升高。当压力升高到大气压力时，气体即推开排气阀排出泵外。同时，A室内的气体压力则逐渐降低,于是被抽气体从吸气口源源不断地吸进，直至吸气口被转子表面隔离而终了。转子连续不断地旋转，泵即连续抽气。在泵腔内各运动件表面间用油膜密封，所以这种泵是一种油封式机械真空泵。余摆线真空泵的极限压力可达 1帕，在压力为10～13帕时可达到额定抽气速率。工作压力范围为10～1帕。
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