由于磁悬浮轴承所体现出的众多优点，从20世纪70年代开始，许多真空设备公司就开始研究此项技术，使其应用于分子泵技术领域。经过真空技术网(www.chvacuum.com)翻阅文献查得：1976年，德国LEYBOLD公司开发了世界上第一台完全无接触的磁悬浮轴承分子泵。其结构与现在广泛使用的磁悬浮轴承结构有所不同，分子泵中心轴是固定的，转子绕中心轴旋转。但由于技术并不成熟，事故多，成本高，未能普及。直至20世纪80年代中期，日本一些真空设备制造公司，在德国的磁悬浮技术基础上进行改进，开发出结构更为合理，性能更为先进的内环式旋转磁悬浮涡轮分子泵。
刚体在空间固定时，需要控制其三个平移自由度和三个回转自由度。对于涡轮分子泵的转子来说，为保证其正常工作，沿轴线回转的自由度不能限制，其余五个自由度需加以控制。磁悬浮轴承对其转子的支撑力及自由度的控制可通过永久磁铁及电磁铁来实现。对五个自由度进行控制的磁悬浮轴承称为五轴控制型，对四个自由度进行控制的称为四轴控制型，同理，磁悬浮轴承还有三轴控制型、两轴控制型及一轴控制型。磁悬浮轴承的控制轴数越多，制造成本越高，但五轴控制型磁悬浮轴承仍为发展的主流。在磁悬浮技术中，电磁力是由电磁铁或永久磁铁在磁路中产生磁通而发挥承载作用的。承载能力与电磁铁最大吸引力有关。
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